1. Fab
[[반도체|반도체 제조 공정
Semiconductor Fabrication
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집적회로를 만드는 공장으로 fabrication의 줄임말이다. 외부로부터 철저히 보호돼야 한다. 공정이 미세화되다 보니 필연적으로 무균 시설이다. 규소를 판 형태로 썰어, 잘 연마한 뒤 바이러스만한 크기의 회로[1]를 심어 테스트 및 출고한다.
회사보다는 개별 시설을 의미한다. 반도체 회사에서 공장을 운영하기도 하지만[2], 때로 제조는 다른 회사에 맡기고 칩만 설계하기도 한다.[3] 현재는 ASML에서 분광기를 독점하는 형태라 반도체 공정을 늘리려면 개별 시설을 늘릴 수 없어서 회사 전체를 매입한다는 뜻으로도 사용되곤 한다.
대부분의 반도체 회사들은 근래에 이 팹을 소유하지 않고 설계만 하며, 생산은 파운드리에 위탁한다. 이러한 방식을 팹리스(Fabless)라고 한다.
- 공정
|
공정 이름[4] |
노드 형태 |
출시 연도 |
트랜지스터 |
인터커넥트 피치 |
트랜지스터 핀 | |||
| 밀도 | 게이트 피치 | 피치 | 폭 | 높이 | ||||
| 10㎛ | 정의 | 1970 | ||||||
| 6㎛ | 정의 | 1974 | ||||||
| 3㎛ | 정의 | 1977 | ||||||
| 1.5㎛ | 정의 | 1982 | ||||||
| 1㎛ | 정의 | 1985 | ||||||
| 800㎚ | 정의 | 1989 | ||||||
| 600㎚ | 정의 | 1994 | ||||||
| 350㎚ | 정의 | 1995 | ||||||
| 250㎚ | 정의 | 1997 | ||||||
| 220㎚ | 하프 | 1999 | ||||||
| 180㎚ | 정의 | 1999 | ||||||
| 150㎚ | 하프 | 2001 | ||||||
| 130㎚ | 정의 | 2001 | ||||||
| 110㎚ | 하프 | 2004 | ||||||
| 90㎚ | 정의 | 2004 | ||||||
| 80㎚ | 하프 | 2006 | ||||||
| 65㎚ | 정의 | 2006 | ||||||
| 55㎚ | 하프 | 2007 | ||||||
| 45㎚ | 정의 | 2007 | ||||||
| 40㎚ | 하프 | 2008 | ||||||
| 32㎚ | 정의 | 2010 | ||||||
| 28㎚ | 하프 | 2012 | ||||||
| 22㎚ | 정의 | 2012 | ||||||
| 20㎚ | 하프 | 2014 | ||||||
| 14㎚ | 정의 | 2014 | ? | 70㎚ | 56㎚ | 42㎚ | 8㎚ | 42㎚ |
| 10㎚ | 정의 | 2017 | ? | 48㎚ | 36㎚ | 36㎚ | ? | 42㎚ |
| 8㎚ | 하프 | 2019 | ||||||
| 7㎚ | 정의 | 2018 | ? | 48㎚ | 28㎚ | ? | ? | ? |
| 5㎚ | 정의 | 2020 | ? | 42㎚ | 24㎚ | ? | ? | ? |
| 3㎚ | 정의 | 2022 | ||||||
- 목록[5]
| 회사 | 위치 | 이름 | 생산 시작 | 생산량 | 생산 제품 | 비고 |
| SK하이닉스 | 이천 | M10 | 2005 | 22만 | D램/CIS | M10+M14=15만(D램), 2만(CIS) |
| M14 | 2015 | D램/낸드 | M10+M14=15만(D램), 5만(낸드) | |||
| M16 | 2021 | 6만 | D램 | EUV | ||
| 우시 | C2 | 2006 | 19만 | D램 | C2+C2F=19만(D램) | |
| C2F | 2019 | D램 | C2+C2F=19만(D램) | |||
| 10만 | 파운드리 | 200 mm, 자회사 SK하이닉스시스템IC | ||||
| 청주 | M8 | 파운드리/CIS | 200 mm, 자회사 SK하이닉스시스템IC | |||
| M11/M12 | 2008/2012 | 9만 | 낸드 | |||
| M15 | 2018 | 6만 | 낸드 | |||
| 10만 | 파운드리 | 200 mm, 자회사 키파운드리 | ||||
| 다롄 | 10만 | 낸드 | 자회사 솔리다임, 인텔에서 인수 | |||
| 삼성전자 | 기흥 | 6라인 | 30만 | 파운드리 | 200 mm, 구 6라인+7라인+8라인 | |
| S1 | 15만 | 파운드리 | 구 9라인+14라인 | |||
| 오스틴 | S2 | 2011[6] | 10만 | 파운드리 | ||
| 화성 | 12라인 | 낸드 | ||||
| 13라인 | D램 | |||||
| 15라인 | D램 | |||||
| 16라인 | 2011[7] | D램 | ||||
| 17라인 | 2015[8] | 17만 | D램 | EUV(V1) | ||
| S3 | 파운드리 | EUV(V1) | ||||
| S4 | CIS | 구 11라인 | ||||
| 시안 | 1공장 | 2014[9] | 21만 | 낸드 | ||
| 2공장 | 낸드 | |||||
| 평택 | P1 | 2017[10] | 29만 | D램/낸드 | 10만(D램), 19만(낸드) | |
| P2 | 2020[11] | D램/낸드/파운드리 | EUV(V2) |
1.1. K-POP 플랫폼
2. Pap
죽을 뜻하는 영어.
[1]
흔히 n nm 공정이라 부르는 건 FET의 채널 길이가 n nm임을 뜻한다.
TSMC의 경우 가장 작은 건 3nm 공정을 쓰는데, 이 정도 크기의 FET가 모여서 회로 하나를 구성하면 수백 nm 정도인 바이러스와 크기가 엇비슷할 것이다.
[2]
인텔과
삼성전자가 대표적이다.
[3]
Apple,
퀄컴,
NVIDIA 등.
[4]
여기 나오는 수치는 회로선폭, 또는 mosfet 채널 길이를 의미한다.
[5]
SK하이닉스 반도체 팹, 어디까지 가봤니?와
삼성전자 반도체 팹, 어디까지 가봤니?를 참고하였다. 생산량은 월간 웨이퍼 장수로 나타내는 것이 관례이며, 특별한 언급이 없으면 300 mm 웨이퍼 기준이다.
[6]
삼성전자, 미국 오스틴 시스템LSI 라인 풀 가동 시작
[7]
삼성전자, 세계 최대 규모 메모리 16라인 가동
[8]
삼성전자 화성 반도체사업장 17라인 본격 가동
[9]
삼성전자, 중국 시안(西安) 반도체 공장 본격 가동
[10]
삼성전자, 세계 최대 규모 평택 반도체 라인 가동
[11]
삼성전자, 세계 최대규모 평택 2라인 가동